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介绍了基于流体运动的加速度计的原理和制作,它的原理是自然对流受到加速度信号而产生对流形变,从而产生温度差,由这个温度差感应了加速度,倾斜、位置变化。这种加速度计由一个充有流体的密闭腔体组成,腔体中包含了一个加热元件和两个对称放置的温度敏感元件。为了实现这种加速度计,采取了微机械制作方法的前腐蚀工艺,把加速度计和伺服电路集成并封装在一起,测试了加速度效应。