基于多弧离子镀复合技术的膜层结构及性能研究

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应用离子渗氮与多弧离子镀复合技术在40Cr基体上制备Ti1-xAlxN复合膜层,采用扫描电镜、XRD分析仪、显微硬度仪与划痕仪研究Al含量对膜层表面结构与性能的影响.结果表明:Al含量对膜层结构与性能有显著影响.Al含量越高,膜层中液滴越多,相结构趋于多相混合结构.Al含量的升高使显微硬度与结合力先上升后降低.
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