荻CMP高浓磨浆的初步研究

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经过化学处理的荻,在φ300mmKRK盘磨机中使用18034N齿盘进行高浓磨浆。浆的筛分析结果表明,一段磨浆主要作用是离解纤维,切断作用很小。在光显微镜下的观测证明,高浓(25%)磨浆时纤维的切断作用显著减少,而且润胀良好,保水值上升。这种经碱性H<sub>2</sub>O<sub>2</sub>温和处理的荻CMP浆在TEM电子显微镜下观测表明,在ML—P层间或在P—S<sub>1</sub>层间未发生剥离现象,而是P和S<su
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