【摘 要】
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摘要 用直流(d.c)反应磁控溅射沉积技术、X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜成像(TEM)微结构分析方法, 研究了氮化钛薄膜表面层固态结构随凝聚增原子能量的变化情况. 发现沿(111)和(002)晶面方向择优生长的TiNx层的点阵参数(a0)与衍射峰半高宽(FWHM)的变化和载能束引起薄膜微观相成分、晶面内压应力、晶粒尺寸和结构缺陷密度紧密相关. 在新的理论框架下, 分别计算了氮化钛薄膜表面
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摘要 用直流(d.c)反应磁控溅射沉积技术、X射线衍射(XRD)和透射电子显微镜成像(TEM)微结构分析方法, 研究了氮化钛薄膜表面层固态结构随凝聚增原子能量的变化情况. 发现沿(111)和(002)晶面方向择优生长的TiNx层的点阵参数(a0)与衍射峰半高宽(FWHM)的变化和载能束引起薄膜微观相成分、晶面内压应力、晶粒尺寸和结构缺陷密度紧密相关. 在新的理论框架下, 分别计算了氮化钛薄膜表面上每个凝聚原子的有效迁移, 薄膜表面达到最小能量状态时每个凝聚原子应该获得的平均能. 实验观察的结果在理论分析中得到了定量解释.
关键词 TiN薄膜 平均沉积能 薄膜微结构
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摘要 对从蒙古北部Gun Nuur湖取得的7.44 m长的连续岩芯样品进行了环境磁学、有机质含量和有机 d 13C 分析, 以获取全新世环境变化的信息. 6个加速器(AMS)14C 年代数据可靠地控制了该岩芯的年代序列. 研究发现蒙古北部全新世气候存在冷(凉)湿-暖干的波动, 并发生多次气候突发事件. 较为显著的突发事件的年代分别为: 1750, 2800, 4000, 5200, 7200和
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摘要 在采用He-H2混合工质脉管制冷实验中发现回热材料Er3Ni具有吸收(附)H2的性质, 初步估算表明吸氢后形成的氢化物Er3NiHx具有比Er3Ni更大的体积比热容, 回热性能更加优越. 实验结果表明, He-H2混合工质和Er3NiHx填料的共同作用显著提高了30K温区脉管制冷机的性能. 关键词 脉管制冷机 混合工质 金属氢化物
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