【摘 要】
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提出了一种扩展的面向对象混合Petri网（EOHPN）的建模方法：针对晶圆制造系统的复杂性，在EOHPN模型中融入了面向对象的抽象机制；为了减少系统建模的复杂性，引入混合Pe试网并用面向对
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院,柔性制造系统技术国家重点实验室
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提出了一种扩展的面向对象混合Petri网（EOHPN）的建模方法：针对晶圆制造系统的复杂性，在EOHPN模型中融入了面向对象的抽象机制；为了减少系统建模的复杂性，引入混合Pe试网并用面向对象建模技术作了扩展。在定义EOHPN模型的基础上，作了对象模型的拓展。用实例描述了基于EOHPN的晶圆制造系统的建模过程，验证了模型在处理系统建模时的有效性。
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