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分压力质谱计校准装置的性能测试及校准实验
分压力质谱计校准装置的性能测试及校准实验
来源 :真空与低温 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dingzanzan
【摘 要】
:
介绍了分压力质谱计校准装置的性能指标,并用分压力质谱计校准装置校准了一台四极质谱计,给出了灵敏度、图样系数、线性、质量刻度、分辨本领等校准结果,还研究了气体之间的
【作 者】
:
李得天
冯焱
李正海
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空与低温
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
分压力测量
四极质谱计
性能测试
真空测量
校准装置
parital pressure measurementquadruploe mass spectrome
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介绍了分压力质谱计校准装置的性能指标,并用分压力质谱计校准装置校准了一台四极质谱计,给出了灵敏度、图样系数、线性、质量刻度、分辨本领等校准结果,还研究了气体之间的相互影响.
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