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期刊论文
纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展
纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展
来源 :科技创新与应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuanmm123
【摘 要】
:
长期以来,半导体硅材料对信息产业发展起到了决定性的作用。当前纳米集成电路发展起来,使用硅基材料,器件功耗有所降低,运行速度提升,各种负面影响减少。文章着重于探讨纳米
【作 者】
:
钟锐涛
【机 构】
:
合肥工业大学
【出 处】
:
科技创新与应用
【发表日期】
:
2020年18期
【关键词】
:
纳米集成电路
大直径硅
硅基材料
研究进展
nano-integrated circuitslarge diameter siliconsilicon-base
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长期以来,半导体硅材料对信息产业发展起到了决定性的作用。当前纳米集成电路发展起来,使用硅基材料,器件功耗有所降低,运行速度提升,各种负面影响减少。文章着重于探讨纳米集成电路用大直径硅与硅基材料的研究进展。
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