氢对BN／C相选择腐蚀性的研究

来源 :青岛大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tiankong20

【摘要】

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本文通过前线轨道理论和ab initio HF计算方法,对不同种类的氢与不同BN/C相之间的反应性进行了比较.结果表明原子氢与sp2-C相的反应性高过其与sp3-C相的反应性,从而说明在CVD

【作者】

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楚天舒

【机构】

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青岛大学医学院物理教研室

【出处】

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青岛大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2001年3期

【关键词】

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选择腐蚀性 HF计算方法前线轨道理论氢反应性 BN/C相薄膜生长 Etching effect Hartree-Fock method Fronti

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本文通过前线轨道理论和ab initio HF计算方法,对不同种类的氢与不同BN/C相之间的反应性进行了比较.结果表明原子氢与sp2-C相的反应性高过其与sp3-C相的反应性,从而说明在CVD技术中原子氢有对C相的选择腐蚀性;在氢与BN相的反应中,原子氢没有类似的选择腐蚀性;相对于中性氢而言离子氢具有较高的反应性.

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