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对重掺As硅片进行快速热处理,发现重掺As硅片中氧沉淀行为与快速热处理温度、保温时间和降温速度有很大的关系.随着快速热处理温度的升高、降温速度的增大和保温时间的延长,氧沉淀的密度增大.最后对影响的机理进行了讨论.
快速热处理对重掺As硅单晶中氧沉淀的影响
【摘 要】
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对重掺As硅片进行快速热处理,发现重掺As硅片中氧沉淀行为与快速热处理温度、保温时间和降温速度有很大的关系.随着快速热处理温度的升高、降温速度的增大和保温时间的延长,
【机 构】
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河北工业大学信息功能材料研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2006年z1期
【基金项目】
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国家自然科学基金(批准号:60076001),河北省自然科学基金(批准号:E2005000057)和河北省教育厅(批准号:2004311)资助项目
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