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建立了ＳＭＡ薄膜／基片的耦合数学模型，对溅射在基片上的ＳＭＡ薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟，结果表明ＳＭＡ薄膜／基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结果，该驱动力比单纯双金属效应产生的驱动力大得多。该模型对于实际应用ＳＭＡ薄膜／基片结构进行微驱动的器件设计具有理论指导意义。
基于硅片的SMA薄膜微驱动器驱动原理与模拟
【摘 要】
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建立了ＳＭＡ薄膜／基片的耦合数学模型，对溅射在基片上的ＳＭＡ薄膜产生驱动的过程进行了仿真模拟，结果表明ＳＭＡ薄膜／基片的耦合驱动是双金属效应和形状记忆效应的双重结果，该驱动力比单纯双金属效
【机 构】
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上海交通大学信息存储研究中心
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1999年4期
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