一种基于随机森林的可寻址WAT良率诊断方法

来源 :微电子学与计算机 | 被引量 : 0次 | 上传用户：snelgar

【摘要】

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WAT(Wafer Acceptance Test,晶圆允收测试)是晶圆在完成制造后必须通过的一项电学测试.本文提出了一种基于随机森林的良率诊断方法,使用随机森林算法对来自可寻址WAT的测试数

【作者】

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刘元修史峥张培勇

【机构】

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浙江大学超大规模集成电路设计研究所

【出处】

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微电子学与计算机

【发表日期】

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2019年9期

【关键词】

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晶圆允收测试良率提升随机森林规则提取 wafer acceptance test yield enhancement random forest rule

【基金项目】

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国家自然科学基金(61674129).

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WAT(Wafer Acceptance Test,晶圆允收测试)是晶圆在完成制造后必须通过的一项电学测试.本文提出了一种基于随机森林的良率诊断方法,使用随机森林算法对来自可寻址WAT的测试数据建立分类模型,并从中提取关键规则.提取出的规则集合可以帮助分析人员快速、准确地对生产中导致低良率的根本原因进行定位、分析,对于良率提升有着重要意义.在真实可寻址WAT测试数据集上应用本文提出的方法,得到的规则集合在分类性能上较基于决策树的方法有着更好的表现.

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