【摘 要】
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为了实现大振幅、高带宽振动的非接触精密测量,本文提出了一种全新的光学测量系统。两束相干光的远场干涉条纹位置与两束光之间相位差有关,相位差的变化将引起干涉条纹移动。
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为了实现大振幅、高带宽振动的非接触精密测量,本文提出了一种全新的光学测量系统。两束相干光的远场干涉条纹位置与两束光之间相位差有关,相位差的变化将引起干涉条纹移动。获取主条纹的位置,可以计算两束光之间的相位差,基于此可以还原物体的振动位移量。对振幅为10？m的单频余弦信号以及频率为44.1kHz的声音信号仿真还原结果表明,本文所提光学系统和还原算法可以还原出亚微米级的振动信号,并能准确还原出音频信息。
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