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利用自行研制的真空清洗装置连接到同步辐射光束线上开展了同步辐射光活化氧清洗碳污染光学元件的研究.引入同步辐射光到冲入氧气的清洗真空室,使氧气电离而生成臭氧.臭氧具有很强的氧化性.光学元件表面的碳污染物在同步辐射光和臭氧的共同作用下,发生化学反应,生成CO2等气态物质.CO2等通过真空泵抽除,进而达到清洗的目的.文中给出了实验结果.