【摘 要】
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我国第一台可供实用的镓液态金属离子源和金—硅共晶合金离子源最近在电子工业部长沙半导体工艺设备研究所研制成功,电子工业部元器件管理局于今年一月二十五日在该所对这两
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我国第一台可供实用的镓液态金属离子源和金—硅共晶合金离子源最近在电子工业部长沙半导体工艺设备研究所研制成功,电子工业部元器件管理局于今年一月二十五日在该所对这两项科研成果进行了局级技术鉴定。 这两种离子源都属新型的高亮度场致发射离子源。这类离子源在国外也是最近几年才研制成功的。它具有亮度高、发射尺寸极小、发射束流稳定、寿命长等特点。是实现
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