【摘 要】
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雪崩光电二极管(APD)作为一种具有内部增益的光电探测器,被广泛地应用于光纤通信领域,其中平面型APD具有暗电流低、可靠性高等优点而被大量研究。但是平面型APD边缘处由于高
【机 构】
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中国科学院半导体研究所光电子研发中心,
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雪崩光电二极管(APD)作为一种具有内部增益的光电探测器,被广泛地应用于光纤通信领域,其中平面型APD具有暗电流低、可靠性高等优点而被大量研究。但是平面型APD边缘处由于高电场易被提前击穿,影响器件性能。文章对抑制平面型APD边缘击穿的不同方法进行了综述,指出它们的结构差别,并重点介绍保护环法的原理及保护环各个参数的优化。
As a photodetector with internal gain, avalanche photodiode (APD) has been widely used in the field of optical fiber communication. The planar APD has been widely studied with the advantages of low dark current and high reliability. However, planar APD edges are easily punctured due to the high electric field, affecting device performance. In this paper, different methods to suppress the APD edge breakdown are reviewed, and their structural differences are pointed out. The principle of the guard ring method and the optimization of each parameter of the guard ring are also introduced.
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