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本文主要介绍了分步投影光刻机１０００Ｗ超高压汞灯电源及其控制线路的特点，采用三相全控桥整流滤波，可控硅进行电压粗调，在功率ＶＭＣＯＳ晶体管进行电流精调的恒流控制系统。
超高压汞灯电源及其控制技术
【摘 要】
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本文主要介绍了分步投影光刻机１０００Ｗ超高压汞灯电源及其控制线路的特点，采用三相全控桥整流滤波，可控硅进行电压粗调，在功率ＶＭＣＯＳ晶体管进行电流精调的恒流控制系统。
【机 构】
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电子工业部第４５研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1996年3期
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