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本文介绍了一套能准确诊断真空电弧等离子体参数的Ｌａｎｇｍｕｉｒ探针系统。测得典型参数：电子温度０．６－０．７ｅＶ，等离子体电位２Ｖ，电子浓度２×１０＾１５／ｍ＾３。该装置可用于自动监控成膜过程。
用于真空电弧涂镀中的静电探针诊断装置
【摘 要】
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本文介绍了一套能准确诊断真空电弧等离子体参数的Ｌａｎｇｍｕｉｒ探针系统。测得典型参数：电子温度０．６－０．７ｅＶ，等离子体电位２Ｖ，电子浓度２×１０＾１５／ｍ＾３。该装置可用于自动监控成膜过程。
【机 构】
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华中理工大学电力系高压教研室
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1995年3期
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