用于真空电弧涂镀中的静电探针诊断装置

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本文介绍了一套能准确诊断真空电弧等离子体参数的Langmuir探针系统。测得典型参数:电子温度0.6-0.7eV,等离子体电位2V,电子浓度2×10^15/m^3。该装置可用于自动监控成膜过程。
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