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CdTe和CdZnTe室温探测器钝化方法概述
CdTe和CdZnTe室温探测器钝化方法概述
来源 :红外技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tiger20091
【摘 要】
:
CdTe和CdZnTe是X射线和γ射线探测器最理想的材料.钝化可以降低CdTe和CdZnTe的表面漏电流,提高其能量分辨率.本文综述了CdTe和CdZnTe的H2O2湿法钝化方法和热氧化、氧离子钝化
【作 者】
:
赵晓燕
鲁正雄
【机 构】
:
中国空空导弹研究院
【出 处】
:
红外技术
【发表日期】
:
2005年4期
【关键词】
:
CDTE
CDZNTE
室温探测器
钝化
CdTe
CdZnTe
room-temperature detector
passivation
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CdTe和CdZnTe是X射线和γ射线探测器最理想的材料.钝化可以降低CdTe和CdZnTe的表面漏电流,提高其能量分辨率.本文综述了CdTe和CdZnTe的H2O2湿法钝化方法和热氧化、氧离子钝化、氧离子/SiNx钝化等干法钝化方法.
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