论文部分内容阅读
蚀刻技术（日本电气）平川克则金子若彦木下胜行１引言薄膜晶体管液晶显示器（ＴＦＴ－ＬＣＤ）以其图像清晰、超薄型、重量轻、耗电少等优点，将成为下一代显示器件的主流。为了满足ＬＣＤ在大型化、色调好、亮度高、耗电少和价格低等方面更严格的要求，对工艺技术的要求...
蚀刻技术
【摘 要】
：
蚀刻技术（日本电气）平川克则金子若彦木下胜行１引言薄膜晶体管液晶显示器（ＴＦＴ－ＬＣＤ）以其图像清晰、超薄型、重量轻、耗电少等优点，将成为下一代显示器件的主流。为了满足ＬＣＤ在大型化、色调好、
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
1994年1期
其他文献
<正> 电子束作图装置(以下写为EB装置)约在二十年前就作为加工微细图形而公开发表了、虽然,在以后的时间里没有很快用于生产,但在约十年前它作为光掩模的作图装置就已实用化
未成年人社区矫正作为对未成年犯进行改造的一项重要制度,在矫正未成年人的心理与行为,维护未成年人合法权益方面有着不容忽视的作用。美国是世界上未成年人社区矫正制度发展
要对电子束扫描场畸变进行修正,首先要进行扫描场畸变的测量。我们采用单标记进行电子束扫描场畸变测量,有其独特的优点。本文介绍了我们的检测方法和通过曝版所观察到的修正
本文综述了国内外低温和室温合成金刚石薄膜的发展风状和动态，介绍了几种典型的低温和室温合成金刚石薄膜的方法及工艺特点，给出了低温合成金刚石薄膜的一些基本规律。
本文先介绍了类金刚石碳膜的结构特点及电子能量损失谱的原理和分类;然后着重评述了近年来电子能量损失谱在类金刚石碳膜(及有些金刚石膜)结构表征中的应用;同时也讨论了类金
本文在理论和试验两个方面探讨了离子注入中的热效应和温升现象。注入样品的温升对离子注入层的性能有直接影响。分析了理论计算注入样品温升的一些情况。给出了实际测量注入
本文介绍了采用自整定，自适应技术，使炉温得到有效控制的钟罩式高温烧结炉的温度控制方法。
本文利用数值仿真技术对复合场中电子成像系统的像差理论做了研究。基于一种新的计算方法编写了一套完整的像差计算程序,由此可求得任意初始条件下复合场中电子成像系统的三
2017年10月18日上午9时，中国共产党第十九次全国代表大会在北京人民大会堂隆重开幕，习近平总书记代表十八届中央委员会向大会作工作报告。党的十九大是在全面建成小康社会决胜