PLASMA IMMERSION ION IMPLANTER FOR THE MODIFICATION OF INDUSTRIAL AEROSPACE COMPONENTS

来源 :核聚变与等离子体物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bpsend
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A commercial plasma immersion ion implanter has been designed and constructed to enhance the surface properties of parts and components used in aerospace applications. The implanter consists of a vacuum chamber, pumping and gas inlet system, custom sample
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