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太阳能级晶体硅材料中杂质的种类和含量直接影响太阳能电池的发电效率,因此硅材料中杂质含量和分布的检测至关重要。当今社会光伏产业的迅猛发展,推进了晶体硅检测技术的更新和发展。本文总结了近年来在硅材料杂质检测中所使用的方法以及这些方法的不足;比较了电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）、辉光放电质谱（GDMS）、二次离子质谱（SIMS）和激光电离质谱（LIMS）四种可用于太阳能级晶体硅检测的原理和优缺点。