无衍射光莫尔条纹空间直线度误差的测量方法

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将无衍射光与莫尔条纹技术相结合 ,发展了一种新的连续空间直线度误差测量技术 .此方法利用了无衍射光和环状莫尔条纹的图像自定位基准特性 .由于无衍射光的大光学口径和光学数值孔径 ,此方法适用于长、短距离连续空间直线度误差测量 ,并且测量系统具有体积小、操作简单、分辨率高等优点 In this paper, a novel technique for measuring the linearity error of continuous space is developed by combining the non-diffracted light with the moiré fringe technique, which utilizes the image self-locating reference characteristics of non-diffracted light and toroidal moiré fringes. Of the large optical aperture and optical numerical aperture, this method is suitable for long, short continuous space straightness error measurement, and the measurement system has the advantages of small size, simple operation, high resolution
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