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利用有限元软件研究了CMM在快速探测时导轨几何误差的动态模型。研究表明，X导轨的绕y和z方向的角误差εy（x）与εz（z）能产生显著的动态效应。它们的动态误差造成CMM，尤其是低刚度CMM中对应测端静态分量大的改变。由此，提出一个能提高CMM快速探测时误差补偿精度的简单方法，即根据探测速度及y坐标值对几何误差曲线进行平滑化。