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分子束外延（MBE）一词原来是用来称呼某些化合物特别是砷化镓（GaAs）的外延薄层的真空淀积（外延层晶体的取向和它在上面淀积的衬底的取向匹配）．然而，现在MBE包括半导体、绝缘体或金属薄膜在超高真空（UHV）中的淀积．
分子束外延
【摘 要】
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分子束外延（MBE）一词原来是用来称呼某些化合物特别是砷化镓（GaAs）的外延薄层的真空淀积（外延层晶体的取向和它在上面淀积的衬底的取向匹配）．然而，现在MBE包括半导体、绝缘体或金属薄
【机 构】
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北京大学
【出 处】
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大学物理
【发表日期】
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1985年7期
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