【摘 要】
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本文叙述了采用DH—3型电化学式微量氧分析仪,测试分析了本所外延系统、扩散与烧结等工序中用的氢、氮气含氧量,并给出了测量数值对照表,为器件的研制和生产提供了可靠依据。
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本文叙述了采用DH—3型电化学式微量氧分析仪,测试分析了本所外延系统、扩散与烧结等工序中用的氢、氮气含氧量,并给出了测量数值对照表,为器件的研制和生产提供了可靠依据。
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