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期刊论文
湿法刻蚀提高硅刻蚀均匀性技术研究
湿法刻蚀提高硅刻蚀均匀性技术研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:quentin324
【摘 要】
:
介绍了硅湿法刻蚀的工作原理,分析了影响硅刻蚀均匀性的主要因素,重点阐述了在湿法腐蚀设备中提高硅刻蚀均匀性的方法。
【作 者】
:
祝福生
夏楠君
赵宝君
黄鑫亮
王文丽
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十五研究所
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2019年5期
【关键词】
:
湿法刻蚀
各向同性刻蚀
各向异性刻蚀
刻蚀均匀性
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介绍了硅湿法刻蚀的工作原理,分析了影响硅刻蚀均匀性的主要因素,重点阐述了在湿法腐蚀设备中提高硅刻蚀均匀性的方法。
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