用多面体测试分度误差研究

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采用多面体和光电平行光管测试圆刻机分度误差,比较了12、36、72面体的测试特点,从数据分析中可找到一些造成误差的因素 Using polyhedron and optical collimator test rounding machine indexing error, comparing the 12,36,72 facet test features, from the data analysis can find some of the factors that cause errors
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