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利用在可见光 谱具有高透射比的ＴａＯｘ离 体薄膜作为保护层，研究了水与溶液发生化学反应的ＶＯｘ薄膜的电化学性能及相应的可我透射性能的和色度变化。厚１００ｎｍ的ＴａＯｘ薄膜即可达到对ＶＯｘ薄膜的保护，避免水溶液对ＶＯｘ薄膜的溶蚀，同时又不影响离子对ＶＯｘ薄膜的注入／抽出
TaOx薄膜在VOx薄膜离子注入／抽出性能研究中的应用
【摘 要】
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利用在可见光 谱具有高透射比的ＴａＯｘ离 体薄膜作为保护层，研究了水与溶液发生化学反应的ＶＯｘ薄膜的电化学性能及相应的可我透射性能的和色度变化。厚１００ｎｍ的ＴａＯｘ薄膜即可达到对ＶＯｘ薄膜的保护，避免
【机 构】
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清华大学电子工程系
【出 处】
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真空科学与技术
【发表日期】
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1999年1期
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