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设计并制作了一种基于SiO2/Si材料的Mach-Zehnder干涉仪(MZI)型集成光波导传感芯片。采用不同浓度的NaCl溶液对传感芯片的敏感特性进行了测试分析,研究结果表明,该传感芯片对特定浓度NaCl溶液的响应和恢复时间分别为1.0 s和0.6 s,可测最小折射率变化为2×10-4RIU(单位折射率变化),在NaCl溶液折射率1.3488~1.3736范围内具有较好的线性响应。