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<正> 前言 晶体的定向是由与晶粒的形状和晶格所确定的晶向有关的晶体的各几何方向间的联系来确定的。硅晶体定向测量的方法很多,但相比之下,光学方法更具有特点。它使用起来简单、定向准确、可靠,能够处理任何半导体应用中的定向测量问题。
硅晶体定向测量的光学方法
【摘 要】
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<正> 前言 晶体的定向是由与晶粒的形状和晶格所确定的晶向有关的晶体的各几何方向间的联系来确定的。硅晶体定向测量的方法很多,但相比之下,光学方法更具有特点。它使用起来
【机 构】
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机械电子工业部第45研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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1989年2期
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