【摘 要】
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(一)概述磁敏传感器是一种磁电转换传感器,它的基本原理霍尔效应和磁阻效应早在十九世纪就被发现。目前除了半导体霍尔元件、磁阻元件以及磁敏二极管已商品化外,还有铁磁体
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(一)概述磁敏传感器是一种磁电转换传感器,它的基本原理霍尔效应和磁阻效应早在十九世纪就被发现。目前除了半导体霍尔元件、磁阻元件以及磁敏二极管已商品化外,还有铁磁体金属薄膜磁阻元件和不要电源的韦冈德元件。关于磁敏元件用的材料除S_l、G_e、Ⅲ-Ⅴ族化合
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