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采用蒸发硒化方法制备了P型CIS(铜铟硒)和CIGS(铜铟镓硒)薄膜，用蒸发法制备N型CdS(硫化镉)，二者组成异质PN结太阳电池。经退火处理，CIS和CIGS薄膜太阳电池的效率分别达到8.83%和9.13%。对制膜过程中衬底的选择，背电极的制备，CIS各元素蒸发控制和镓的掺入等工艺技术问题进行了深入的讨论，对电池的退火处理提出了自己的见解。