辉光功率对VHF-PECVD制备的硅基薄膜特性的影响

来源 :人工晶体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：clvic

【摘要】

：

本文主要研究了用VHF-PECVD方法制备的不同辉光功率条件下系列硅薄膜样品.喇曼测试结果显示:在不同硅烷浓度(SC)条件下,非晶到微晶的过渡区发生在不同的功率点;暗电导随晶化

【作者】

：

张晓丹赵颖朱锋魏长春孙建侯国付薛俊明耿新华熊

【机构】

：

南开大学光电子所,天津,300071

【出处】

：

人工晶体学报

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

甚高频等离子体增强化学气相沉积过渡区微区喇曼光谱扫描电子显微镜

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

本文主要研究了用VHF-PECVD方法制备的不同辉光功率条件下系列硅薄膜样品.喇曼测试结果显示:在不同硅烷浓度(SC)条件下,非晶到微晶的过渡区发生在不同的功率点;暗电导随晶化率也体现出不同的变化,此结果表明不同SC、不同功率制备样品的结构特性和电学特性的内在规律是不同的;另外,扫描电子显微镜的测试结果表明样品的表面呈“菜花”状和剖面为柱状的结构特征.

其他文献

Sustainable Development in the Core Water Resource Area of the Central Route of the South-to-North W

With continued population growth and accelerated industrialization and urbanization, water shortages and water quality deterioration have become a bottleneck

期刊

利用“还课”提高初中数学学习的有效性

【摘要】“还课”是学生自主学习、主动学习的一种方式，是学生掌握知识、提高技能、发展能力的一种学习新型模式。特别是在初中数学学习过程中“还课”有着重要的意义，本文分析了“还课”有效性、开放性以及自主性的特点，探讨了老师在 “还课”过程中的角色定位，提高学习的有效性。　　【关键词】“还课”；初中数学学习；有效性　　学习的有效性，就是指学生通过学习，在学业上有收获，由浅入深、在学习成绩上得到提高。具体

期刊

还课初中数学学习有效性

Effects of vegetation strata and human disturbance on bird diversity in green areas in a city in sou

为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7

期刊

Urban birdsUrban green areaVegetation structureBird compositionChile

Three new C20-diterpenoid alkaloids from Delphinium anthriscifolium var. savatieri

为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7

期刊

Delphinium anthriscifolium vat. savatieriC20-diterpenoid alkaloidAnthriseifolm

按请柬送彩礼

我在公司驻美国纽约办事处工作半年多,从美国人的结婚请柬中,实实在在地感受到美国人是“现实主义者”.rn一天中午,公司聘请的美国翻译斯蒂娜小姐送给我一张结婚请柬.我打开

期刊

请柬美国人现实主义结婚公司办事处幸福聘请纽约里斯礼物褐色感受翻译参加薄纸

2015自强报刊评审后记

在2015百强报刊评审中,笔者很荣幸被国家新闻出版广电总局新闻报刊司聘为期刊评审专家,在两天多的评审工作中,不仅聆听了中宣部和总局各级领导的最新观点,也学习了各个领域评

期刊

新闻报刊评审专家新闻出版评审工作广电总局学习期刊领导国家

Estimation of the parameter error propagation in inversion based BRDF observations at single sun pos

为探究吕家坨井田地质构造格局,根据钻孔勘探资料,采用分形理论和趋势面分析方法,研究了井田7

期刊

爱,就是为对方着想

<正>这是一个现代都市里的浪漫爱情故事。他得了绝症,她辞掉了自己的工作,专心在医院里照顾他。他们纯洁的恋情打动了所有的人。整整两年,他们的病友换了一个又一个,有的康复

期刊

语文教学要为学生的思维插上翅膀

【摘要】新课改要求语文教学要充分发展学生的思维。语文教师在让学生爱上语文的同时，要充分尊重学生的个性差异，给学生广阔的思维空间，让学生充分阅读，大胆展示，张扬个性，放飞思维。　　【关键词】吸引；尊重；展示　　教学沈复先生的《童趣》我总会由衷地生出一种感动抑或是羡慕。人见人厌的蚊子在童年作者眼里变成了仙鹤，蚊子在烟雾中边飞边鸣的情景被其想象成了“鹤立云端”的画面，这种珍贵的想象当然来自他无忧无虑

期刊

吸引尊重展示

袁隆平的“小气”与“大方”

中国颇具权威的评估机构报告称，袁隆平身价为一千多亿。在一些人眼里，似乎袁隆平很有钱，其实他是一位拿国家俸禄的科学家，每个月的全部收入连工资和补贴加起来，总共4000多元钱。对此，他总是乐呵呵地说，这些收入不低了，够我花的了。在袁隆平看来，金钱的多少，无非是一个数字，他说：“钱是要有的，要生活，要生存，没有钱，饭都吃不上，是不能生存的。但钱够一般日常生活开销，再小有积蓄就行了，对钱不能看得太重。”　

期刊

袁隆平收入日常生活生存评估机构科学家中国数字人眼权威开销金钱国家工资俸禄补贴

辉光功率对VHF-PECVD制备的硅基薄膜特性的影响

与本文相关的学术论文