【摘 要】
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为满足半导体生产线建模与仿真在仿真性能、仿真真实性等方面的较高要求，基于Simul8复杂系统仿真软件对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中，提出了非动态加工区和动态
【机 构】
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同济大学电子与信息工程学院,上海贝岭股份有限公司
【基金项目】
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国家973基础研究发展规划资助项目(编号:2002CB312202);国家自然科学基金资助项目(编号:60374005)
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为满足半导体生产线建模与仿真在仿真性能、仿真真实性等方面的较高要求，基于Simul8复杂系统仿真软件对半导体硅片制造生产线进行建模和仿真的过程中，提出了非动态加工区和动态加工区的分类的思想，探讨了各自基于Simul8的实现方法，同时分析并有效解决了工序加工时间和运输时间的统计计算问题。仿真应用表明，提出的方法在增强半导体生产线仿真真实性的同时，也有效改进了仿真的性能。
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