提高敏感器件性能的措施

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本文从影响敏感器件性能的主要弱点着手,采取扩大和加深振梁节点孔径的设计方案。实验结果表明采用此方案研制的敏感器件,其读出、阻尼面的增益和Q值有明显提高。 In this paper, the main weaknesses that affect the performance of sensitive devices are taken and the design scheme of expanding and deepening the aperture of vibrating beam node is taken. Experimental results show that the sensitivity of the device developed by this scheme, read out, the gain of the damping surface and the Q value has significantly improved.
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