【摘 要】
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研究了纳米通孔的分布对于表面波方法测量多孔低介电常数薄膜机械特性的影响，提出了用横观各向同性表征周期性多孔介质材料结构特性的表面波传播理论模型，给出了表面波在low-k
【机 构】
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天津大学电子信息工程学院专用集成电路设计中心
【基金项目】
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国家自然科学基金（批准号：60406003）和教育部留学回国人员科研启动基金资助项目
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研究了纳米通孔的分布对于表面波方法测量多孔低介电常数薄膜机械特性的影响，提出了用横观各向同性表征周期性多孔介质材料结构特性的表面波传播理论模型，给出了表面波在low-k薄膜／Si基底分层结构中的传播方程．通过数值算例揭示出表面波在不同传播方向的频散特性，以及low-k薄膜的弹性常数即杨氏模量E，E′和剪切模量G′对频散特性的影响．结果表明E′和G′在垂直于通孔的传播方向不能被测出．
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