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FSI国际有限公司宣布推出一系列新的稀释酸溶液清洗工艺，这一名为EcoBlend^TM的工艺系列可有效地节约成本，并可环保地去除灰化残留物。在用于铝和钨内联清洗应用时，这一系列化学工艺为集成电路制造商提供了现在所使用的、高成本的专用化学品的替换方法。
FSI国际发布高性价比灰化残留物去除稀释酸清洗解决方案EcoBlend^TM系列工具
【摘 要】
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FSI国际有限公司宣布推出一系列新的稀释酸溶液清洗工艺，这一名为EcoBlend^TM的工艺系列可有效地节约成本，并可环保地去除灰化残留物。在用于铝和钨内联清洗应用时，这一系列化学
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2005年9期
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