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本文主要介绍了0.5μm CMOS工艺中一些腐蚀模块的工艺.
0.5μm CMOS腐蚀工艺研究
【摘 要】
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本文主要介绍了0.5μm CMOS工艺中一些腐蚀模块的工艺.
【机 构】
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无锡微电子科研中心二室
【出 处】
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电子与封装
【发表日期】
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2002年5期
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