利用激光掺杂技术制造半导体结型探测器

来源 :核电子学与探测技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liyunlong1015
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本文介绍用激光掺杂技术在高阻硅中掺入杂质来制造核辐射结型探测器的方法。测试结果表明,所制作的这种探测器性能良好稳定,一致性好,制作周期短。 This article describes the use of laser doping technology in high-resistance silicon doped with impurities to make nuclear radiation junction detector method. The test results show that the performance of the detector produced by the good and stable, consistent, short production cycle.
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