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离子束外延生长(Ga,Mn,As)的退火研究
离子束外延生长(Ga,Mn,As)的退火研究
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ccicc
【摘 要】
:
利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射(XRD)分析了室温条件下离子束外延生长Ga、Mn、As样品,在不同的温度条件下进行退火后组分和元素分布的变化.结果表明退火有助于样品内部元
【作 者】
:
宋书林
陈诺夫
周剑平
柴春林
杨少延
刘志凯
【机 构】
:
中国科学院半导体所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2003年5期
【关键词】
:
退火
低能离子束外延
GAAS衬底
Annealing
Low energy ion beam epitaxy
GaAs substrate
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利用俄歇电子能谱(AES)和X射线衍射(XRD)分析了室温条件下离子束外延生长Ga、Mn、As样品,在不同的温度条件下进行退火后组分和元素分布的变化.结果表明退火有助于样品内部元素的均匀分布,温度为400 ℃会导致MnO2和Ga5.2Mn的结晶.
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