【摘 要】
：
在较低衬底温度下，通过磁控溅射得到的非晶态Ta2O5薄膜，在氧气氛750℃条件下进行化学热退火，得到晶化的Ta2O2薄膜，其相对介电常数为34．3，漏电流密度小于10-TA／cm^2。电容量测试时，为
【基金项目】
：
江西省教育厅科技计划资助项目（编号：GJJ08318,赣教技字[2006]203号
论文部分内容阅读
在较低衬底温度下，通过磁控溅射得到的非晶态Ta2O5薄膜，在氧气氛750℃条件下进行化学热退火，得到晶化的Ta2O2薄膜，其相对介电常数为34．3，漏电流密度小于10-TA／cm^2。电容量测试时，为了较好地消除高温退火时产生的SiO2的介质层对电容测试值的影响，用不同厚度氧化钽薄膜为介质层做成金属-绝缘体-金属（MIM）结构的电容器，对这些电容器的电容测试数据，进行Sigmoidal拟合，得到极限电容，从而计算出Ta2O5薄膜的介电常数。
其他文献
目的 观察手法通乳联合中药内服治疗早期急性乳腺炎（气滞热壅证）的临床效果.方法 选取我院传统内科及中医护理门诊就诊的早期急性乳腺炎（气滞热壅证）患者60例,随机分为两组,各30
研究了Cr^s+在Pb／PbO2电极上的电氧化，确定了铬离子电氧化的最佳条件：Cr^3+浓度0．35mol·L^-1电流密度198A·m^-2，硫酸浓度4mol·L^-1，温度44℃，硫酸铵浓度0．15mol·
研究背景：乙型肝炎病毒(hepatitis B virus, HBV)感染所致的慢加急性肝衰竭(HBV-related acute-on-chronic liver failure, ACLF)是临床常见的危重症,病死率较高,对人类危害严
随着我国现代城市的规划建设速度越来越快,我国公路交通基础设施的整体建设水平也在不断提升。公路隧道工程建设过程中,开挖支护施工是其中非常重要的一部分,能够直接对公路
<正>牙槽骨修整术是一种常见的口腔外科门诊手术,其主要目的是去。除防碍装载义齿的牙槽骨突起部分,使牙槽嵴能均匀地受咬合压力,以恢复咀嚼、语言、面容等口腔颌面部功能。
ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
黑龙江省金融学会是中国人民银行哈尔滨中心支行主管的专门从事全省金融学术研究的群众性团体，成立于1979年，活动宗旨是宣传党和政府金融政策方针，普及金融知识，开展群众性理论研
<正> 住房公积金制度在我国已全面推行起来,这种强制性的住房储蓄政策能否长久坚持下去,能否顺利归集、合理使用,利率水平的高低起着十分关键的作用。目前我国大多数城市采用
十八大以来,中央高度重视保险业的发展,更是把保险业的发展放在经济社会工作整体布局中统筹考虑。2014年8月13日,国务院印发了《关于加快发展现代保险服务业的若干意见》(以
<正> 房地产业的发展,有一个重要问题不应当被我们所忽视.这就是房地产业的发展有赖于房地产产权保障体系作为基础.1987年,在完成全国房屋普查工作的基础上,建设部在全国组织