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快速热退火铝合金工艺可以明显改善硼扩硅P~+-n结的漏电流.X射线衍射实验表明,铝原子补偿了硼原子在硅片中造成的应变,改善了晶体的完整性.
快速热退火铝合金降低硅p~+-n结的漏电流
【摘 要】
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快速热退火铝合金工艺可以明显改善硼扩硅P~+-n结的漏电流.X射线衍射实验表明,铝原子补偿了硼原子在硅片中造成的应变,改善了晶体的完整性.
【机 构】
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复旦大学物理系,上海无线电十七厂,中国科学院上海技术物理研究所
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1990年4期
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