【摘 要】
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本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析。随后介绍了
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本文首先对辉光放电发射光谱(Glow Discharge Optical Emission Spectrometry-GDOES)基本原理做了简单评述,重点说明了对测量的材料成分-深度实验数据的定量分析。随后介绍了GDOES在材料表面、薄膜和涂层等领域的应用。最后给出了利用MRI模型对GDOES深度剖析数据定量分析的实例。
In this paper, the basic principle of Glow Discharge Optical Emission Spectrometry (GDOES) is briefly reviewed. The quantitative analysis of the measured material composition-depth experiment data is highlighted. Then introduced GDOES in the material surface, film and coating and other fields. Finally, an example of using the MRI model to quantitatively analyze GDOES depth profiles is given.
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