【摘 要】
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利用脉冲激光沉积法在玻璃基片上、以不同的能量密度和重复频率制备了-系列ZnS薄膜.利用X射线衍射、X射线能量色散谱、紫外-可见-近红外分光光度计,对ZnS薄膜的晶体结构、化
【机 构】
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合肥工业大学电子科学与应用物理学院
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利用脉冲激光沉积法在玻璃基片上、以不同的能量密度和重复频率制备了-系列ZnS薄膜.利用X射线衍射、X射线能量色散谱、紫外-可见-近红外分光光度计,对ZnS薄膜的晶体结构、化学组分、光学特性等进行表征.结果表明：所制备 ZnS 薄膜为富硫贫锌,结晶质量良好,为（002）晶面择优取向生长.能量密度为 7.5 J/cm2、重复频率为2 Hz是生长高质量ZnS薄膜的条件,其所制备的ZnS薄膜为纤锌矿结构,结晶程度最高,择优取向度最高（189.2）,Zn/S摩尔比值接近化学计量比,堆积密度最大（0.967）,可见
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