【摘 要】
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随着精密制造行业对光学元件面形要求的提高,干涉仪系统误差的标定越来越重要.其中,采用液面基准法作为干涉仪系统误差标定的方案具有高精度,低成本的优点.在不考虑外界因素
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
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随着精密制造行业对光学元件面形要求的提高,干涉仪系统误差的标定越来越重要.其中,采用液面基准法作为干涉仪系统误差标定的方案具有高精度,低成本的优点.在不考虑外界因素的影响下,理论上液体平晶曲率与地球半径相同,可认作绝对平面进行系统误差标定.但由于液体对环境较为敏感,不易控制,因此如何建立一个高精度的液面基准是整个过程中最为关键的一个环节,其直接影响了系统精度.由于液体的流动性特点使得以往的时间移相方法不再适用,因此采用了点源异位立式斐索干涉仪进行液面的动态测量,对液体、液盘的各项性质进行综合分析.最终完成了高精度的液面基准建立,可用于干涉仪的系统误差标定.
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