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衬底材料述评:硅、蓝宝石、砷化镓
衬底材料述评:硅、蓝宝石、砷化镓
来源 :半导体情报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhifeiji1
【摘 要】
:
<正> 众所周知,硅具有一系列的特性,使之成为很有吸引力的半导体材料。主要的理由是资源丰富,二氧化硅在地壳中占28%,这就使硅材料比其他材料便宜,例如一平方时的硅片约为85美
【作 者】
:
王家源
【出 处】
:
半导体情报
【发表日期】
:
1984年02期
【关键词】
:
切克劳斯基法
区熔法
半导体工业
砷化镓
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<正> 众所周知,硅具有一系列的特性,使之成为很有吸引力的半导体材料。主要的理由是资源丰富,二氧化硅在地壳中占28%,这就使硅材料比其他材料便宜,例如一平方时的硅片约为85美分,而一平方时的砷化镓就要4~30美
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