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<正> 众所周知,硅具有一系列的特性,使之成为很有吸引力的半导体材料。主要的理由是资源丰富,二氧化硅在地壳中占28％,这就使硅材料比其他材料便宜,例如一平方时的硅片约为85美分,而一平方时的砷化镓就要4～30美
衬底材料述评:硅、蓝宝石、砷化镓
【摘 要】
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<正> 众所周知,硅具有一系列的特性,使之成为很有吸引力的半导体材料。主要的理由是资源丰富,二氧化硅在地壳中占28％,这就使硅材料比其他材料便宜,例如一平方时的硅片约为85美
【出 处】
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半导体情报
【发表日期】
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1984年02期
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