【摘 要】
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针对磁控溅射用气体放电现象设计了磁控电源，并从磁控溅射，触发脉冲，自适应调节器，电流截止负反馈等几个方面详细分析了电路的原理，在电网电压变化±１０％，负载变化±２０％进，相对额定
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针对磁控溅射用气体放电现象设计了磁控电源，并从磁控溅射，触发脉冲，自适应调节器，电流截止负反馈等几个方面详细分析了电路的原理，在电网电压变化±１０％，负载变化±２０％进，相对额定电压的静态精度〈±０．５％，动态最大调整时间△Ｌ〈０．３３ｍｓ，动态最大压降△Ｖ〈２％，从而使镀膜质量从纯度，厚度，均匀等方面有了极大地提高。
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