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微反射镜阵列器件技术及其应用
微反射镜阵列器件技术及其应用
来源 :光学与光电技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xuelin_1985
【摘 要】
:
概述了微反射镜阵列器件的分类、其主要驱动方式,以及现有商用阵列器件的情况。就4种驱动方式,介绍了其机电特性和工艺特点,并进行比较分析,指出选择驱动方式应依据应用的性质、
【作 者】
:
蒋剑良
孙琼
刘玉杰
【机 构】
:
北京理工大学信息科学技术学院光电工程系
【出 处】
:
光学与光电技术
【发表日期】
:
2008年3期
【关键词】
:
微反射镜阵列
微执行器
应用
micromirror arraymicroactuatorapplication
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概述了微反射镜阵列器件的分类、其主要驱动方式,以及现有商用阵列器件的情况。就4种驱动方式,介绍了其机电特性和工艺特点,并进行比较分析,指出选择驱动方式应依据应用的性质、工艺集成难度和成本效益原则。总结了微反射镜阵列器件在5个方向的应用。最后,阐述了微反射镜阵列器件技术展望。
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