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本文阐述了HNO3—HF—H2SO4—HAC四元素硅片腐蚀的方法,研究了各组份对硅和钼腐蚀的影响。结果表明,该溶液对钼的腐蚀仅为常用腐蚀溶液的5％以下,对硅的腐蚀可以适当调整。采用该工艺,可获得光滑、平整的镜表面和节省腐蚀溶液,降低成本。
硅的腐蚀溶液
【摘 要】
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本文阐述了HNO3—HF—H2SO4—HAC四元素硅片腐蚀的方法,研究了各组份对硅和钼腐蚀的影响。结果表明,该溶液对钼的腐蚀仅为常用腐蚀溶液的5％以下,对硅的腐蚀可以适当调整。采用
【出 处】
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电器新技术
【发表日期】
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1984年02期
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