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软X射线多层膜技术是目前工程光学和应用光学中的一个热点.用多层膜可以组成类似于可见光波段的各种软X射线光学仪器,如望远镜、显微镜、投影光刻系统和光谱仪器等.文章简要介绍长春光学精密机械研究所近年来软X射线多层膜技术的研究概况.
软X射线多层膜技术
【摘 要】
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软X射线多层膜技术是目前工程光学和应用光学中的一个热点.用多层膜可以组成类似于可见光波段的各种软X射线光学仪器,如望远镜、显微镜、投影光刻系统和光谱仪器等.文章简要
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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原子能科学技术
【发表日期】
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2004年期
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